真空处理装置、静电吸盘之诊断方法及记忆媒体

摘要

提供针对基板之真空处理之运用等时,于静电吸盘之使用开始前可诊断介电质层之绝缘状态之真空处理装置等。以吸附保持玻璃基板G等为目的之热喷镀型之静电吸盘22时,高压直流电源67对静电吸盘22之吸盘电极24施加低于吸附保持玻璃基板G时之直流电压之诊断电压,各测定器70、71取得测定位置之电气特性(电压或电流)之测定资料。其次,具有诊断部机能之控制部80,针对上述之电气特性之测定资料及各电气特性,与预设之设定资料(阈値)进行比较,判断该静电吸盘22是否为可使用之状态。