具有可调式举升与旋转底座的基板支撑件

摘要

本发明提供一种用以在处理室中定位基板支撑件之方法及装置。在一实施例中,一种用以定位基板支撑件之装置包括:一第一部件,系设置以装载至一处理室之一底部;以及一第二部件,系设置以支撑一基板支撑件。第一部件系可释放地耦接至第二部件。第二部件包括一下外罩,其系耦接至一下轴环。下轴环系可相对于第一部件而横向定位。下外罩具有一平面定向,其系可相对于下轴环之一平面定向而调整。