发明名称 PIEZOELEKTRISCHE STRUKTUREN
摘要
申请公布号 DE60225930(D1) 申请公布日期 2008.05.15
申请号 DE2002625930 申请日期 2002.09.26
申请人 1...LTD. 发明人 TOPLISS, RICHARD;LIVINGSTONE, DAVID;MATHESON, ANDREW;MCKEVITT, GARETH;SHEPHERD, MARK RICHARD;HOOLEY, ANTHONY
分类号 H01L41/09;H01L41/187;H01L41/22;H02N2/00 主分类号 H01L41/09
代理机构 代理人
主权项
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