RF功率传输中的次频率的终止

摘要

提供了一种连接在RF功率发生器的输出端与等离子体腔体的输入端之间的次级电抗终端电路，以允许对工艺等离子体中的次频率的电压和电流分量进行严格的调节或者限制。次级电抗电路对匹配网络的阻抗进行控制，其中最初将该匹配网络设计为从系统中的次频率来看，在RF功率发生器的基本频率进行操作。在终端电路的连接点上对功率传输分量进行测量，并且该功率传输分量用来作为反馈信号，以控制终端电路分量的可变值。

主权项

1.一种用于将RF功率传输到等离子体的系统，包括：a)RF功率发生器，其设置用于将功率传输到等离子体腔体内的等离子体；b)阻抗匹配网络，其设置在所述RF功率发生器的输出端，用于提供在所述发生器的基本工作频率上的从所述RF功率发生器到所述等离子体的高效功率传输；以及c)终端电路，其配置在所述RF功率发生器和所述等离子体腔体之间，用于对所述等离子体内一个或多个次频率上的到所述等离子体的功率传输进行调节。