| 发明名称 | 具有安全挡板的晶舟盒导轨传动装置 | ||
| 摘要 | 具有安全挡板的晶舟盒导轨传动装置(R/M)，其特征是，安全挡板设置在晶片存储架整体结构(STK)朝向外部位置(OP)一侧的“H”形框架结构上，用安全挡板将原先的晶舟盒导轨传动装置(R/M)的完整空间分割成大小相等的多个小空间，形成网格结构，安全挡板固定于晶片存储架整体结构(STK)朝向外部位置(OP)一侧的“H”形框架结构上。安全挡板的形状是中间向外突出的折弯形，向外突出的中间部分与两个侧边部分之间的夹角分别是150度±1度。 | ||
| 申请公布号 | CN100388455C | 申请公布日期 | 2008.05.14 |
| 申请号 | CN200510030271.2 | 申请日期 | 2005.09.29 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | 发明人 | 张银娟;郑文国 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01);B65G1/02(2006.01) | 主分类号 | H01L21/677(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市金杜律师事务所 | 代理人 | 李勇 |
| 主权项 | 1.具有安全挡板的晶舟盒导轨传动装置，其特征是，安全挡板设置在晶片存储架整体结构朝向外部位置一侧的“H”形框架结构上，用安全挡板将原先的晶舟盒导轨传动装置的完整空间分割成大小相等的多个小空间，形成网格结构，安全挡板固定于晶片存储架整体结构朝向外部位置一侧的“H”形框架结构上。 | ||
| 地址 | 201203上海市浦东新区张江路18号 | ||