发明名称 热电偶保护管的封管支撑装置
摘要 一种热电偶保护管的封管支撑装置,包括水平支架、连接于水平支架上的用于支撑热电偶保护管的第一立架和第二立支架,所述的第一立架的接触热电偶保护管的支撑位高于第二立架的支撑位。本实用新型所提供的热电偶保护管的封管支撑装置可以方便保护管的封管操作,并且避免封管时产生的水汽封在保护管内。
申请公布号 CN201060056Y 申请公布日期 2008.05.14
申请号 CN200720070178.9 申请日期 2007.05.23
申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 发明人 瞿丹红;陈淑美;吴协祥;张士仁
分类号 G01K1/14(2006.01);G01K1/08(2006.01);G01K7/02(2006.01) 主分类号 G01K1/14(2006.01)
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 逯长明
主权项 1.一种热电偶保护管的封管支撑装置,其特征在于,包括水平支架、连接于水平支架上的用于支撑热电偶保护管的第一立架和第二立架,所述的第一立架的接触热电偶保护管的支撑位高于第二立架的支撑位。
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