压力控制方法及等离子加工装置

摘要

利用压力检测范围不同的第一和第二压力传感器132，134检测蚀刻装置100的处理室102内的压力。压力控制器144从第一及第二压力传感器132，134的各压力数据根据处理室102内的压力选择最佳压力数据。进而，对应处理室102内的压力利用所选择的分辨率分解所选择的压力数据，求出规定的数据密度的压力数据。压力控制器144以使该压力数据跟随设定压力数据的方式控制压力调整阀130。

主权项

1.一种压力控制方法，基于检测处理室内压力的压力检测机构的压力数据控制调整前述处理室内压力的压力调整机构的压力控制机构，其特征为，所述压力控制方法包括以下工序：对于前述压力检测范围不同的多个压力检测机构中的每一个，设定获得前述压力数据的压力数据获取范围的工序；基于前述各压力数据获取范围，设定从前述各压力检测机构的前述压力数据中选择用于压力控制的压力数据的压力数据选择值的工序；在前述各个压力数据获取范围内的每一个中，对把前述压力数据分解为多个使前述压力数据的数据密度虚拟地变化的两个以上的分辨率的各分辨率适用范围进行设定的工序；基于前述各分辨率的适用范围，设定从对应于前述所选择的压力数据的前述各分辨率中选择一个分辨率的分辨率选择值的工序；比较前述各压力检测机构的压力数据与前述压力数据选择值，选择用于压力控制的压力数据的工序；比较前述所选择的压力数据与前述分辨率选择值，从各分辨率中选择一个分辨率的工序；基于前述所选择的分辨率，使前述所选择的压力数据的数据密度虚拟地变化的工序；根据使前述数据密度变化的压力数据及基于设定压力值的设定压力数据，控制前述压力调整机构的工序。