DEVICE AND METHOD FOR DETECTING ELECTRICAL PROPERTIES OF A SAMPLE COMPOSED OF AN EXCITABLE MATERIAL

摘要

Eine Vorrichtung zur Erfassung elektrischer Eigenschaften einer Probe aus einem anregbaren Material, insbesondere eines Silizium-Wafers, umfasst eine Mikrowellen-Quelle (6) zur Erzeugung eines Mikrowellen-Feldes, ein an die Mikrowellen-Quelle (6) in Mikrowellen übertragender Weise gekoppeltes Resonanz-System (2), welches einen mindestens eine Öffnung (26) aufweisenden Mikrowellen-Resonator und eine benachbart zu der mindestens einen Öffnung angeordnete, zu untersuchende Probe, aufweist, mindestens eine in der Umgebung der Probe angeordnete Anregungs-Quelle (3) zur gesteuerten elektrischen Anregung der Probe und eine Mess-Einrichtung (5) zur Messung mindestens eines physikalischen Parameters des Resonanz-Systems (2).