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发明名称 VERFAHREN ZUR PLASMABEHANDLUNG
摘要
申请公布号 DE69838226(T2) 申请公布日期 2008.05.08
申请号 DE19986038226T 申请日期 1998.10.30
申请人 TOKYO ELECTRON LTD. 发明人 FUKIAGE, NORIAKI
分类号 H01L21/31;H01L21/314;C23C16/26;C23C16/56;H01L21/3105;H01L21/312;H01L21/768 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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