bung in einer Prozesslinie

摘要

Durch Orientieren von Substraten in einer im Wesentlichen vertikalen Weise während des Transports voortsystem einer komplexen Fertigungsumgebung zur Verarbeitung von Mikrostrukturbauelementen wird eine deutliche Verringerung des Flächenverbrauchs in der entsprechenden Reinraumumgebung erreicht. Insbesondere für Substrate mit großem Durchmesser kann eine deutliche Verringerung der lateralen Abmessung des entsprechenden Transportsystems erhalten werden, wobei eine weitere Verbesserung in dieser Hinsicht durch Prozessstrategien erreicht werden kann, in denen kleinere Standardlosgrößen verwendet werden.