| 发明名称 |
CHARGE PREVENTING METHOD USING CONVERGED ION BEAM WORKING AND OBSERVING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09274878(A) |
申请公布日期 |
1997.10.21 |
| 申请号 |
JP19960081205 |
申请日期 |
1996.04.03 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI INSTR ENG CO LTD |
发明人 |
MUTO KATSUMI |
| 分类号 |
H01J37/20;H01J37/256;H01J37/305;(IPC1-7):H01J37/20 |
主分类号 |
H01J37/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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