真空吸附系统

摘要

本发明涉及一种真空吸附系统，可以真空·吸附如铁板、玻璃或半导体材料用晶片等具有平板形状的物体和具有平滑的面的各种物品。根据本发明的真空吸附系统，包括：吸入·压缩手段，用于吸入·压缩空气；一个或一个以上的复数个吸附手段，根据是否存在对象物体，真空调节构件能动地被调节，从而在对象物体存在时，进行真空·吸附工作，在对象物体不存在时，中断空气的吸入；连接管，用于连接上述吸入·压缩手段和吸入·吸附手段；及管制阀，设置在上述连接管的一侧，用于管制空气的流动。本发明的真空吸附系统，根据对象物体的规格或形状(最终根据是否存在对象物体)，使吸附手段的真空状态可以得到能动控制。

主权项

1.一种真空吸附系统，其特征在于，包括：吸入·压缩手段(20)，用于吸入·压缩空气；吸附手段(30)，根据是否存在对象物体，真空调节构件(37)能动地被调节，从而在对象物体存在时，进行真空·吸附工作，在对象物体不存在时，中断空气的吸入；连接管(P)，用于连接上述吸入·压缩手段(20)和吸入·吸附手段(30)；及管制阀(V)，设置在上述连接管(P)的一侧，用于管制空气的流动。