用于维护具有机器人的等离子体处理系统的装置

摘要

公开了一种用于对包括对接端口的等离子体处理系统执行一组服务程序的机器人装置。该装置包括平台和连接到平台的对接探针，其中，对接探针被配置为与对接端口对接。该装置还包括连接到平台的机械手臂，和连接到机械手臂的工具，并且该机械手臂还被配置为充分执行一组服务程序。该装置还包括连接到平台的计算机，其中，该计算机还被配置为执行一组服务程序，以及其中，当对接探针对接到对接端口时，由该工具执行一组服务程序。

主权项

1.一种用于对包括对接端口的等离子体处理系统执行一组服务程序的机器人设备，包括：平台；对接探针，连接到所述平台，其中，所述对接探针被配置为与所述对接端口对接；机械手臂，连接到所述平台，并且还被配置为充分执行所述一组服务程序；工具，连接到所述机械手臂；以及计算机，连接到所述平台，其中，所述计算机还被配置为执行所述一组服务程序；其中，当所述对接探针对接到所述对接端口时，通过所述工具执行所述一组服务程序。