Ⅲ族氮化物结晶的制造方法、Ⅲ族氮化物结晶的制造装置及Ⅲ族氮化物结晶

摘要

一种III族氮化物结晶的制造方法、III族氮化物结晶的制造装置及III族氮化物结晶，III族氮化物结晶的制造方法是将保持含有III族金属和助熔剂的溶液的溶液保持容器收容于反应容器内，并经配管自外部向所述反应容器内供给含氮的物质，同时制造III族氮化物结晶的方法，其中，该方法中设有如下工序，在所述溶液保持容器内使III族氮化物结晶成长之前，在所述配管内形成液体滞留部，并利用该滞留部将所述配管暂时堵塞。

主权项

1.一种III族氮化物结晶的制造方法，将保持有含III族金属和助熔剂的溶液的溶液保持容器收纳于反应容器内，经配管将含氮的物质从外部供给向所述反应容器内，同时制造III族氮化物结晶，其特征在于，含有在使III族氮化物结晶在所述溶液保持容器内成长之前，在所述配管内形成液体滞留部，利用该滞留部暂时堵塞所述配管的工序。