| 发明名称 | 除电装置、除电方法以及程序记录介质 | ||
| 摘要 | 本发明涉及除电装置、除电方法以及程序记录介质，该除电装置能够消除静电的影响，即使是65nm工艺以后的超微细结构的被检查体也能提高被检查体的检查的可靠性，并且能够可靠地防止器件的损伤。本发明的除电装置(20)中，主卡盘(14)与探测卡(15)相对移动，在主卡盘(14)上的晶片W与探测卡(15)电接触，进行晶片(W)的电特性检查时，经由主卡盘(14)除去晶片(W)的静电，并且包括：将主卡盘(14)接地的接地用配线(22)、设在该接地用配线(22)中的继电器开关(23)和开闭控制该继电器开关(23)的开关控制器(26)。 | ||
| 申请公布号 | CN101175362A | 申请公布日期 | 2008.05.07 |
| 申请号 | CN200710146677.6 | 申请日期 | 2007.08.24 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 筱原荣一;花轮一纪 |
| 分类号 | H05F3/02(2006.01);H01L21/66(2006.01) | 主分类号 | H05F3/02(2006.01) |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 1.一种除电装置，其特征在于，该除电装置中，被检查体的载置台与探测卡相对移动，在所述载置台上的所述被检查体与所述探测卡电接触而检查所述被检查体的电特性时，经由所述载置台除去所述被检查体的静电，该除电装置包括：将所述载置台接地的接地用配线；设在该接地用配线中的继电器开关和开闭控制该继电器开关的控制器。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||