| 发明名称 | 一种圆心定位方法与装置 | ||
| 摘要 | 一种圆心定位装置，该装置包括工件台(1)，位于X－Y－Z坐标系中，并在XOY平面内做旋转运动；探测装置(3)位于工件台(1)的上方，用于记录标记的坐标；第一标记(4)和第二标记(5)，位于工件台(1)上，用于确定旋转运动圆心位置。该装置结构简单，但是测量准确，并且能节省成本。 | ||
| 申请公布号 | CN101174094A | 申请公布日期 | 2008.05.07 |
| 申请号 | CN200710046956.5 | 申请日期 | 2007.10.11 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 | 发明人 | 吴刚 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01) | 主分类号 | G03F7/20(2006.01) |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 1.一种圆心定位装置，其特征在于，该装置包括工件台(1)，位于X-Y-Z坐标系中，并且在XOY平面内做旋转运动；探测装置(3)位于工件台(1)的上方，用于记录第一标记(4)和第二标记(5)的坐标；第一标记(4)和第二标记(5)位于工件台(1)上，用于确定旋转运动圆心的实际位置。 | ||
| 地址 | 201203上海市张江高科技园区张东路1525号 | ||