发明名称 半导体用合金材料及半导体芯片的制备方法
摘要 本发明提供一种半导体用合金材料,其由作为主要组分的Au和不少于3wt%且不多于40wt%的Ag构成。
申请公布号 CN100386848C 申请公布日期 2008.05.07
申请号 CN200380104281.5 申请日期 2003.10.29
申请人 夏普株式会社;田中贵金属工业株式会社 发明人 井上和范;石仓千春
分类号 H01L21/28(2006.01);H01L21/285(2006.01);H01L21/288(2006.01);H01L21/3205(2006.01);C23C14/34(2006.01);C23C14/24(2006.01);C22C5/02(2006.01) 主分类号 H01L21/28(2006.01)
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 封新琴;巫肖南
主权项 1.一种半导体用合金材料,所述合金材料直接覆盖Si半导体,所述合金材料由作为主要组分的Au和不少于3wt%且不多于40wt%的Ag构成。
地址 日本大阪府