流体喷射装置的制造方法

摘要

本发明提供一种流体喷射装置的制造方法,包括:提供一基底,具有一第一面及一第二面,且该第二面相对于该第一面;形成一图案化之多孔性结构区于该基底内;形成一第一结构层于该基底之该第一面上及覆盖该图案化之多孔性结构区;由该基底之该第二面蚀刻该基底并暴露该图案化之多孔性结构区,以形成一流体通道;去除该图案化之多孔性结构区以形成连接该流体通道之一流体腔;以及图案化该第一结构层以在一喷孔预定区上形成一开口。