| 摘要 |
一种雷射光学单元,其包含:一具有一成像或聚焦透镜及透镜控制机构的光学件头(12),其适用以提供一雷射光束(14),此雷射光束在此单元的一数据点上沿着该光束(14)的一轴可提供一光罩的影像或一光束的焦点(13);一工作站(W),其适用于将一基板工件(15)相对于此数据点定位,以便沿着垂直于工作站(W)所定位的基板工件(15)之光束(14)的轴,提供该光罩影像或光束焦点(13)的定位;此工作站(W)另外适用于以横贯该光束(14)的轴之指定方向(X、Y)移动该工件(15);一圆盘(11)及提供用于将此圆盘以流体支撑于工作站(W)上的一基板工件(15)上的一圆盘区域上方之机构;以及将该圆盘(11)连接到该光学件头的机构,其用以使该圆盘(15)能相对于此轴方向(X、Y)移动此光学件头(12);其特征在于偏移机构(D),藉此,至少当圆盘(11)被以流体支撑时,圆盘(11)以及此圆盘区域在垂直于光束(14)的轴之方向上被从雷射光束(14)的轴处偏移。 |
