| 发明名称 | 电子元件图纹缺陷的修补方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种电子元件图纹缺陷的修补方法包括提供一基板具有一图案化结构于其上,其中图案化结构具有至少一缺陷,且图案化结构对应一主要区域及该至少一缺陷对应一缺陷区域。施以一第一表面处理步骤于缺陷区域,使缺陷区域的表面性质相异于主要区域。以喷墨法施以一缺陷修补步骤以及施以一第二表面处理步骤于缺陷区域,使缺陷区域的表面性质与主要区域的表面性质相同。 | ||
| 申请公布号 | TW200820315 | 申请公布日期 | 2008.05.01 |
| 申请号 | TW095139325 | 申请日期 | 2006.10.25 |
| 申请人 | 财团法人工业技术研究院 | 发明人 | 郑兆凯;黄介一;邱琬雯;林春宏;张加强 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01);G02F1/13(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 代理人 | 洪澄文;颜锦顺 | |
| 主权项 | |||
| 地址 | 新竹县竹东镇中兴路4段195号 | ||