喷洒器头结构、成模方法及气体处理装置(二)

摘要

本发明系一种喷洒器头结构,用以供给一定之气体,被设置于为了对被处理体实施成膜处理之处理室之顶部,包含有:头本体,系形成杯形状在底部具有打开多数气体喷射孔之气体喷出部,在该杯形状的开口侧一体的形成用以朝上述处理室之顶部安装之接合凸缘部;头加热部,系用以将该头本体调整至所希望的温度,被设置于上述头本体的底部近旁,为一种藉低温下使再现性提升之成膜处理与藉高温下进行除去反应副生成物之喷洒器头结构。