| 发明名称 | 用于控制处理室内的压力的设备及其操作方法 | ||
| 摘要 | 一种操作用于控制处理室(10)内的压力的设备的方法，该设备包括第一泵单元(14)和第二泵单元(16)，该第一泵单元的入口与所述处理室的出口流体连通，该第二泵单元的入口经由流动控制单元(18)与该第一泵元件的出口流体连通，该流动控制单元包括具有可变导通性的可变流动控制装置(20，28)，以便控制在第一泵送单元的出口处的出口流体压力，该操作方法包括控制第一泵单元的速度以便增加室压力的范围，在该范围内在不超过第一泵单元的发热限制和马达失速极限的情况下该出口流体压力的控制使得该室压力改变。 | ||
| 申请公布号 | CN100385123C | 申请公布日期 | 2008.04.30 |
| 申请号 | CN03814272.4 | 申请日期 | 2003.06.20 |
| 申请人 | 爱德华兹有限公司 | 发明人 | M·E·托尔纳 |
| 分类号 | F04D19/04(2006.01);H01L21/00(2006.01);G05D16/20(2006.01) | 主分类号 | F04D19/04(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 崔幼平;黄力行 |
| 主权项 | 1.一种操作用于控制处理室(10)内的压力的设备的方法，该设备包括第一泵单元(14)和第二泵单元(16)，该第一泵单元的入口与所述处理室的出口流体连通，该第二泵单元的入口经由流动控制单元(18)与该第一泵元件的出口流体连通，该流动控制单元包括具有可变导通性的可变流动控制装置(20，28)，以便控制在第一泵单元的出口处的出口流体压力，该操作方法包括控制第一泵单元的速度以便增加室压力的范围，在该范围内在不超过第一泵单元的发热限制和马达失速极限的情况下该出口流体压力的控制使得该室压力改变。 | ||
| 地址 | 英国西萨塞克斯郡 | ||