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发明名称 MEMS DEVICE HAVING SUPPORT STRUCTURES CONFIGURED TO MINIMIZE STRESS-RELATED DEFORMATION AND METHODS FOR FABRICATING SAME
摘要
申请公布号 EP1915319(A1) 申请公布日期 2008.04.30
申请号 EP20060789884 申请日期 2006.08.17
申请人 QUALCOMM MEMS TECHNOLOGIES, INC. 发明人 KOGUT, LIOR;ZHONG, FAN
分类号 B81B3/00 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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