| 发明名称 |
Verfahren zur Herstellung eines Mikrosystems |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE19829609(B4) |
申请公布日期 |
2008.04.30 |
| 申请号 |
DE19981029609 |
申请日期 |
1998.07.02 |
| 申请人 |
ROBERT BOSCH GMBH |
发明人 |
HEYERS, KLAUS;ELSNER, BERNHARD |
| 分类号 |
B81C1/00;B81B3/00;B81B7/02;G12B1/00;H01L21/822;H01L25/04;H01L27/06 |
主分类号 |
B81C1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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