发明名称 |
具有平面触点的超级可缩放垂直MOS晶体管 |
摘要 |
形成在晶粒或芯片的衬底(11)中的漏极电极(17)上方的掺杂硅方块或岛具有对应于沟道(21、23、25)的所需长度的高度。源极电极(27)形成在所述硅岛上方,且实现从上方的接触(41)。也可从上方接触(43)L形控制栅极(33、35)和次表面漏极。为所构建的垂直晶体管形成针对源极、栅极和漏极的水平触点阵列。如果将纳米晶体(31)并入到所述栅极与所述沟道之间的层(29)中,那么可形成非易失性浮动栅极晶体管。在没有所述纳米晶体层的情况下,形成MOS或CMOS晶体管。 |
申请公布号 |
CN101171690A |
申请公布日期 |
2008.04.30 |
申请号 |
CN200680015504.4 |
申请日期 |
2006.04.12 |
申请人 |
爱特梅尔公司 |
发明人 |
博胡米尔·洛耶克 |
分类号 |
H01L29/94(2006.01);H01L21/8238(2006.01) |
主分类号 |
H01L29/94(2006.01) |
代理机构 |
北京律盟知识产权代理有限责任公司 |
代理人 |
孟锐 |
主权项 |
1.一种垂直MOS晶体管,其包含:漏极、沟道和源极区的垂直堆叠夹层排列,其位于经轻度掺杂的硅衬底上的有源区域内,其中所述源极和漏极区中的一者至少部分位于所述衬底中,且具有远离所述堆叠夹层排列的电极延伸并具有第一导电类型,所述沟道具有第二导电类型,且所述源极和漏极区中的另一者具有所述第一导电类型;一对L形栅极,其竖直部分横向邻近于所述堆叠夹层排列但由薄绝缘体分离,所述栅极具有非竖直部分,所述非竖直部分形成远离所述堆叠夹层排列的栅极延伸;以及多个电触点,其中第一和第二触点具有接触所述电极和栅极延伸的垂直部分,且第三触点接触所述源极和漏极区中的另一者,所述第一、第二和第三触点具有排列成平面阵列的部分。 |
地址 |
美国加利福尼亚州 |