发明名称 一种超高真空手、气动闸板阀
摘要 本实用新型涉及超高真空系统中的闸板阀,具体地说是一种用于调节气体流量,切断或接通管路的超高真空手、气动闸板阀,包括上阀板、下阀板及阀体,阀体内设有阀板架,上、下阀板分别安装在阀板架的两侧,上、下阀板与阀板架相对的表面分别均布有多个水滴状凹槽,阀板架上相对应地设有个数相等的滚珠架,水滴状凹槽与滚珠架形成的空间内容置有滚珠;上、下阀板上均设有凹槽,凹槽上固接有挡杆,板簧的一端连接在挡杆上,另一端为自由端,上、下阀板通过板簧相连接;阀板架的一端设有定位轴,另一端设有轴承,四连杆机构通过轴承与阀板架相连接;四连杆机构的另一端连接有控制单元。本实用新型具有减少微尘、夹气,实现手、气动双用的优点。
申请公布号 CN201053510Y 申请公布日期 2008.04.30
申请号 CN200720013233.0 申请日期 2007.07.11
申请人 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 发明人 袁亮;郑锐;赵洪吉;张立国;张振厚;王光玉
分类号 F16K3/02(2006.01);F16K3/314(2006.01);F16K31/143(2006.01);F16K51/02(2006.01) 主分类号 F16K3/02(2006.01)
代理机构 沈阳科苑专利商标代理有限公司 代理人 许宗富;周秀梅
主权项 1.一种超高真空手、气动闸板阀,其特征在于:包括上阀板(1)、下阀板(2)及阀体(5),阀体(5)内设有阀板架(3),上、下阀板(1、2)分别安装在阀板架(3)的两侧,上、下阀板(1、2)与阀板架(3)相对的表面分别均布有多个水滴状凹槽(10),阀板架(3)上相对应地设有个数相等的滚珠架(12),水滴状凹槽(10)与滚珠架(12)形成的空间内容置有滚珠;上、下阀板(1、2)上均设有凹槽(6),凹槽(6)上固接有挡杆(7),板簧(8)的一端连接在挡杆(7)上,另一端为自由端,上、下阀板(1、2)通过板簧(8)相连接;阀板架(3)的一端设有定位轴(15),另一端设有轴承(14),四连杆机构(17)通过轴承(14)与阀板架(3)相连接;四连杆机构(17)的另一端连接有控制单元(4)。
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