决定机器派工顺序的方法以及使用该方法的制造系统

摘要

一种决定机器派工顺序的方法，其使用于一半导体制造系统。于该半导体制造系统中提供至少一第一机器与一第二机器，以及至少可执行于该机器的一第一半导体工艺与一第二半导体工艺。计算该第一与第二工艺的需求产出量。利用一统计方法决定出该第一与第二机器的派工优先权，其中，该统计方法为一两阶段数据回馈法，其实施流程包括下列步骤。首先在第一阶段时执行未设优先权的机器派工顺序并得出机器使用率，接着在第二阶段使用第一阶段得出的结果，其中，若该第一机器的平均使用率最低，则将其派工优先权设为一第一派工优先权，且将该第二机器的派工优先权设为一第二派工优先权。

主权项

1.一种决定机器派工顺序的方法，其使用于一半导体制造系统，包括下列步骤：于该半导体制造系统中提供至少一第一机器与一第二机器，以及至少可执行于该机器的一第一半导体工艺与一第二半导体工艺；计算该第一与第二工艺的需求产出量；以及利用一统计方法决定出该第一与第二机器的派工优先权；其中，该统计方法为一两阶段数据回馈法，其实施流程包括下列步骤：在第一阶段执行未设优先权的机器派工顺序并得出机器使用率；以及在第二阶段使该第一阶段得出的结果设定该第一与第二机器的派工优先权，其中，若该第一机器的平均使用率最低，则将其派工优先权设为一第一派工优先权，且将该第二机器的派工优先权设为一第二派工优先权。