| 发明名称 | 外观检查装置、外观检查方法以及可安装在外观检查装置上的边缘部检查单元 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种外观检查装置、外观检查方法以及可安装在外观检查装置上的边缘部检查单元。该外观检查装置具有宏观检查部(10)和微观检查部(11)，在微观检查部(11)中，将检查台(31)与显微镜(32)安装在安装板(30)上。检查台(31)可分别在X方向、Y方向、Z方向上移动，还可在θ方向上旋转。而且，在安装板(30)上固定有边缘部检查部(12)，该边缘部检查部(12)取得晶片(W)的边缘部的放大像。边缘部检查部(12)被配置为拍摄保持在检查台(31)上的晶片(W)的边缘部。 | ||
| 申请公布号 | CN101167171A | 申请公布日期 | 2008.04.23 |
| 申请号 | CN200680014011.9 | 申请日期 | 2006.04.26 |
| 申请人 | 奥林巴斯株式会社 | 发明人 | 横田敦俊;蛇石广康;土坂新一 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01) | 主分类号 | H01L21/66(2006.01) |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 黄纶伟 |
| 主权项 | 1.一种外观检查装置，其特征在于，该外观检查装置具有：外观检查部，其用于对工件正面进行外观检查；以及边缘部检查部，其取得上述工件的边缘部的放大像，由上述外观检查部和上述边缘部检查部共用在上述外观检查部中保持上述工件的保持单元。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||