带隔离系统的光罩盒

摘要

本发明提供一种光罩容器，其配备有辅助容器，所述辅助容器容纳光罩并容纳于主容器中。所述辅助容器通过震动及振动隔离部件固持于主容器内，从而使所述辅助容器在主容器内具有多个运动自由度。所述光罩紧固于所述辅助容器内部，从而使从光罩容器传递至光罩的震动及振动得到实质衰减。

主权项

1.一种用于支撑衬底以提供震动及振动隔离的装置，所述装置的特征是包含：主盒，其包含配置有下凹内表面的封盖以及基座，所述封盖适于可移开地啮合所述基座，以于所述下凹表面与所述基座之间界定第一密封壳体，所述基座具有其中容纳有闩锁机构的内部；辅助盒，其包含下部及上部，所述上部适于啮合所述下部，以界定用于容纳所述衬底的第二外壳，所述下部包含支撑结构以在上面固持衬底，且所述上部包含固定结构以用于在所述上部与所述下部啮合时固定所述衬底；至少一个弹性耦合件，其在所述主盒与所述辅助盒之间延伸并提供所述辅助盒相对于所述主盒的主位置，所述辅助盒可因震动或振动而可返回地移离所述主位置，所述弹性耦合件为所述辅助盒提供相对于所述主盒的多个运动自由度；通过所述至少一个弹性耦合件的第二端而允许阻尼，所述辅助盒在所述主盒中的多个位移自由度。