发明名称 薄膜电晶体、薄膜电晶体阵列及其修补方法
摘要 一种薄膜电晶体,包括闸极、半导体层、源极与汲极。闸极具有控制部、连接部以及电容补偿部,且连接部是连接于控制部与电容补偿部之间。半导体层是配置于闸极上方,源极与汲极则是分别配置于部分之半导体层上,而源极与汲极之间的半导体层内即为一通道。汲极的一端与闸极之控制部间具有第一重叠区域而诱发第一寄生电容,汲极之另一端与闸极之电容补偿部间则是具有第二重叠区域而诱发第二寄生电容。利用此薄膜电晶体所构成的薄膜电晶体阵列中,各画素区域内的第一寄生电容与第二寄生电容的和为定值。
申请公布号 TWI296158 申请公布日期 2008.04.21
申请号 TW095105610 申请日期 2006.02.20
申请人 中华映管股份有限公司 发明人 刘文雄
分类号 H01L29/786(2006.01);G02F1/1362(2006.01) 主分类号 H01L29/786(2006.01)
代理机构 代理人 詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;萧锡清 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1
主权项 1.一种薄膜电晶体,包括: 一闸极,配置于一基板上,且该闸极具有一控制部 、一连接部以及一电容补偿部,其中该连接部是连 接于该控制部与该电容补偿部之间; 一半导体层,配置于该闸极上方; 一源极,配置于部分之该半导体层上;以及 一汲极,配置于部分之该半导体层上,而在该源极 与该汲极之间的该半导体层内形成一通道,且该汲 极之一端与该闸极之该控制部间具有一第一重叠 区域而诱发一第一寄生电容,该汲极之另一端与该 闸极之该电容补偿部间具有一第二重叠区域而诱 发一第二寄生电容,其中该第一寄生电容与该第二 寄生电容的和恒为定値。 2.如申请专利范围第1项所述之薄膜电晶体,其中该 第一重叠区域与该第二重叠区域的面积和恒为定 値。 3.如申请专利范围第1项所述之薄膜电晶体,其中该 闸极之该控制部与该电容补偿部分别为条状。 4.如申请专利范围第3项所述之薄膜电晶体,其中该 闸极之该控制部与该电容补偿部相互平行。 5.如申请专利范围第1项所述之薄膜电晶体,其中该 源极更具有一延伸部,且该延伸部与部分之该电容 补偿部重叠。 6.如申请专利范围第1项所述之薄膜电晶体,其中该 通道系由该闸极之该控制部上方朝该闸极之该连 接部上方弯折延伸。 7.如申请专利范围第1项所述之薄膜电晶体,其中该 半导体层是位于该闸极之该控制部与该电容补偿 部的上方。 8.一种薄膜电晶体阵列,包括: 一基板,具有多个画素区域; 多个薄膜电晶体,分别配置于其所对应之该些画素 区域其中之一内,且各该薄膜电晶体包括: 一闸极,配置于该基板上,且该闸极具有一控制部 、一连接部以及一电容补偿部,其中该连接部是连 接于该控制部与该电容补偿部之间; 一半导体层,配置于该闸极上方; 一源极,配置于部分之该半导体层上; 一汲极,配置于部分之该半导体层上,而在该源极 与该汲极之间的半导体层内形成一通道,且该汲极 之一端与该闸极之该控制部间具有一第一重叠区 域而诱发一第一寄生电容,该汲极之另一端与该闸 极之该电容补偿部间具有一第二重叠区域而诱发 一第二寄生电容, 其中在各该画素区域内,该第一寄生电容与该第二 寄生电容的和为定値;以及 多个画素电极,分别配置于其所对应之该画素区域 内,且该些画素电极分别电性连接至对应之该薄膜 电晶体。 9.如申请专利范围第8项所述之薄膜电晶体阵列,其 中在各该画素区域内,该第一重叠区域与该第二重 叠区域的面积和为定値。 10.如申请专利范围第8项所述之薄膜电晶体阵列, 其中各该闸极之该控制部与该电容补偿部分别为 条状。 11.如申请专利范围第10项所述之薄膜电晶体阵列, 其中各该闸极之该控制部与该电容补偿部相互平 行。 12.如申请专利范围第8项所述之薄膜电晶体阵列, 其中在各该画素区域内,该源极更具有一延伸部, 且该延伸部与部分之该电容补偿部重叠。 13.如申请专利范围第8项所述之薄膜电晶体阵列, 其中在各该画素区域内,该通道系由该闸极之该控 制部上方朝该闸极之该连接部上方弯折延伸。 14.如申请专利范围第8项所述之薄膜电晶体阵列, 其中该半导体层是位于该闸极之该控制部与该电 容补偿部的上方。 15.一种薄膜电晶体阵列的修补方法,适于对申请专 利范围第12项所述之薄膜电晶体阵列进行修补,当 该些闸极其中之一的该电容补偿部与该源极之该 延伸部或该汲极之间发生静电破坏时,该修补方法 包括: 切断该闸极之该连接部,以使该闸极之该电容补偿 部与该闸极之该控制部电性绝缘;以及 熔接该电容补偿部与该汲极或该源极之该延伸部 。 16.如申请专利范围第15项所述之薄膜电晶体阵列 的修补方法,其中切断该闸极之该连接部的方法包 括雷射切割。 17.如申请专利范围第15项所述之薄膜电晶体阵列 的修补方法,其中熔接该电容补偿部与该汲极或该 源极之该延伸部的方法包括雷射熔接。 图式简单说明: 图1为习知之薄膜电晶体阵列的俯视示意图。 图2为习知一种薄膜电晶体液晶显示器之单一画素 的等效电路示意图。 图3为本发明之第一实施例中薄膜电晶体阵列的局 部上视图。 图4为图3之薄膜电晶体阵列沿I-I'线的剖面示意图 。 图5为图3之薄膜电晶体阵列发生静电破坏时的修 补示意图。 图6为本发明之第二实施例中薄膜电晶体阵列的局 部上视示意图。
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