发明名称 A METHOD OF MAKING SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 KR100823821(B1) 申请公布日期 2008.04.21
申请号 KR20020031971 申请日期 2002.06.07
申请人 发明人
分类号 H01L27/092;H01L21/265;H01L21/266;H01L21/8238;(IPC1-7):H01L27/092 主分类号 H01L27/092
代理机构 代理人
主权项
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