发明名称 图案形成方法、液滴吐出头、图案形成装置、彩色滤光器基板之制造方法、彩色滤光器基板、光电装置之制造方法及光电装置
摘要 本发明系提供一种提升图案形状之均匀性及生产性之图案形成方法、液滴吐出头、图案形成装置、彩色滤光器基板之制造方法、彩色滤光器基板、光电装置之制造方法及光电装置。其解决方法系于各液滴吐出头设置赋予包含吐出头振幅值及吐出头频率fh之振动的振动部,当各吐出对象喷嘴Rj入侵到对应之红色着色层形成区域上时,藉由该振动部使液滴吐出头振动。而当吐出对照嘴Rj之中心位置对峙于对应之红色着色层形成区域之吐出区域Sj期间,从该吐出对照喷嘴Rj吐出微小液滴Ds,以形成红色着色层。
申请公布号 TWI295636 申请公布日期 2008.04.11
申请号 TW095101727 申请日期 2006.01.17
申请人 精工爱普生股份有限公司 发明人 伊藤达也
分类号 B41J2/175(2006.01);B41J2/01(2006.01);B41J2/045(2006.01) 主分类号 B41J2/175(2006.01)
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 1.一种图案形成方法,其系于一方向扫描于一侧面 具有图案形成区域之基板,从具备液滴吐出嘴之液 滴吐出头将含有图案形成材料之液滴吐出至前述 图案形成区域,而于前述图案形成区域形成图案者 ,其特征在于: 对于前述一侧面,使前述液滴吐出头于与前述一方 向相异之方向相对振动,而于前述液滴吐出嘴对峙 于前述图案形成区域时,从前述液滴吐出嘴吐出前 述液滴。 2.如请求项1之图案形成方法,其中系藉由使前述液 滴吐出头于与前述一方向相异之方向振动,使前述 液滴吐出头对于前述一侧面相对振动。 3.如请求项1之图案形成方法,其中系藉由使前述基 板于与前述一方向相异之方向振动,使前述液滴吐 出头对于前述一侧面相对振动。 4.如请求项1-3中任一项之图案形成方法,其中系使 前述液滴吐出头于前述一侧面内与前述一方向正 交之方向对于前述一侧面相对振动。 5.如请求项1-3中任一项之图案形成方法,其中系以 控制使从前述液滴吐出嘴对形成于前述一侧面之 多个前述图案形成区域吐出之液滴的总量相等之 方式,从前述液滴吐出嘴吐出液滴。 6.如请求项5之图案形成方法,其中系藉由调整从前 述液滴吐出嘴吐出之液滴之重量或数量之至少任 一者,而控制使从前述液滴吐出嘴对多个前述图案 形成区域吐出之液滴之总量相等。 7.如请求项1-3中任一项之图案形成方法,其中系当 前述液滴吐出嘴位在比从沿着前述图案形成区域 之前述一方向之中心线至较特定距离为短之距离 时,从前述液滴吐出嘴吐出前述液滴。 8.一种液滴吐出头,其具有液滴吐出嘴,该液滴吐出 嘴系将含有图案形成材料之液滴吐出至受一方向 扫描之基板之图案形成区域,其特征在于具备: 振动机构,其系使前述液滴吐出嘴于与前述一方向 相异之方向振动。 9.一种图案形成装置,其具有扫描机构及液滴吐出 头,该扫描机构系于一方向扫描于一侧面具备图案 形成区域之基板者;该液滴吐出头具备液滴吐出嘴 ,该液滴吐出嘴系将含有图案形成材料之液滴吐出 至前述图案形成区域;其特征在于包含: 振动机构,其系使前述液滴吐出头于与前述一方向 相异之方向,对于前述一侧面相对振动;及 控制机构,其系当前述液滴吐出嘴对峙于前述图案 形成区域时,驱动控制前述液滴吐出嘴使其吐出前 述液滴。 10.如请求项9之图案形成装置,其中 前述振动机构系一振动部,其系接近于前述液滴吐 出头,赋予前述液滴吐出头特定振动。 11.一种彩色滤光器基板之制造方法,其系于一方向 扫描于一侧面具有着色层形成区域之基板,从具备 液滴吐出嘴之液滴吐出头将含有着色层形成材料 之液滴吐出至前述着色层形成区域内,而于前述着 色层形成区域形成着色层者,其特征在于: 前述着色层系藉由如请求项1-7中任一项之图案形 成方法所形成。 12.一种彩色滤光器基板,其系藉由如请求项11之彩 色滤光器基板之制造方法制造而成。 13.一种光电装置,其系于元件基板与对向基板之间 具有光电物质层者,其特征在于: 前述对向基板系如请求项12之彩色滤光器基板。 14.一种光电装置之制造方法,其系于一方向扫描于 一侧面具有发光元件形成区域之基板,从具备液滴 吐出嘴之液滴吐出头将含有发光元件形成材料之 液滴吐出至前述发光元件形成区域内,而于前述发 光元件形成区域形成发光元件者,其特征在于: 前述发光元件系藉由如请求项1-7中任一项之图案 形成方法所形成。 15.一种光电装置,其系藉由如请求项14之光电装置 之制造方法制造而成者。 图式简单说明: 图1表示本发明具体化之第1实施形态之液滴吐出 装置之立体图。 图2表示同液滴吐出头之立体图。 图3表示同液滴吐出头之立体图。 图4表示同液滴吐出头之剖面图。 图5表示同液滴吐出头之剖面图。 图6表示同彩色滤光器之立体图。 图7表示同彩色滤光器之剖面图。 图8表示同液滴吐出装置之电气构成之方块图。 图9系说明同液滴吐出装置之液滴吐出动作之说明 图。 图10系说明同液滴吐出装置之液滴吐出动作之说 明图。 图11表示同彩色滤光器之剖面图。 图12表示本发明具体化之第1实施形态之液晶显示 装置之立体图。
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