发明名称 Electrolysis Plating System
摘要 An electroplating apparatus and method are provided. The electrolysis plating apparatus includes an electrolytic cell, and copper electrode, a wafer electrode, and a magnetic field generator.
申请公布号 US2008083624(A1) 申请公布日期 2008.04.10
申请号 US20070863496 申请日期 2007.09.28
申请人 KIM SANG CHUL 发明人 KIM SANG CHUL
分类号 C25D5/00;C25D17/00 主分类号 C25D5/00
代理机构 代理人
主权项
地址