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发明名称 NON-CRITICAL PHASE MATCHING IN CLBO TO GENERATE SUB-213NM WAVELENGHTS
摘要
申请公布号 EP1908179(A2) 申请公布日期 2008.04.09
申请号 EP20060788626 申请日期 2006.07.26
申请人 KLA-TENCOR TECHNOLOGIES CORPORATION 发明人 ARMSTRONG, J., JOSEPH;CHUANG, YUNG-HO
分类号 G02F1/35 主分类号 G02F1/35
代理机构 代理人
主权项
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