发明名称 |
导电基板上液膜厚度的测量方法 |
摘要 |
本发明提供了一种导电基板上液膜厚度的测量方法。该测量方法包括:提供一电路,其具有直流电源、第一、第二两个导电探针及连接两导电探针的微电阻电流计;提供微步进控制仪将第一导电探针固定在液膜上方,第二导电探针连接到导电基板上;调节微步进控制仪,使第一导电探针向液膜移动,观察微电阻电流计的读数,当读数开始大于零时,记录此时微步进控制仪的第一刻度;继续调节微步进控制仪,使第一导电探针继续向下移动,当微电阻电流计的读数突然变大时,记录此时微步进控制仪的第二刻度;记录的微步进控制仪的第一、第二刻度的差值就是液膜的厚度。相较现有技术,本发明提供的测量方法简单,可以直接测量液膜的厚度,可以实现微米级厚度的液膜。 |
申请公布号 |
CN101159225A |
申请公布日期 |
2008.04.09 |
申请号 |
CN200710047900.1 |
申请日期 |
2007.11.07 |
申请人 |
上海宏力半导体制造有限公司 |
发明人 |
孙震海 |
分类号 |
H01L21/00(2006.01);H01L21/66(2006.01);G01B7/06(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/00(2006.01) |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所 |
代理人 |
屈蘅 |
主权项 |
1.一种导电基板上液膜厚度的测量方法,其特征在于,该测量方法包括如下步骤:提供一电路,该电路具有直流电源、第一、第二两个导电探针以及连接两导电探针的微电阻电流计;提供一微步进控制仪,其将第一导电探针固定在液膜上方,调节微步进控制仪可使第一导电探针朝向液膜移动,第二导电探针连接到导电基板上;调节微步进控制仪,使第一导电探针向液膜移动,观察微电阻电流计的读数,当读数开始大于零时,记录此时微步进控制仪的第一刻度;继续调节微步进控制仪,使第一导电探针继续向下移动,当微电阻电流计的读数突然变大时,记录此时微步进控制仪的第二刻度;记录的第一、第二刻度的差值就是液膜的厚度。 |
地址 |
201203上海市张江高科技圆区郭守敬路818号 |