发明名称 用于相变介质存储装置的低热耗小接触面积复合电极
摘要 本发明公开了一种用于相变介质存储装置(10)的低热耗小接触面积电极结构和制造方法。存储装置包括复合电极(12),其包括介电芯棒(13),介电芯棒与基底(11)连接并具有在顶点(V)终止的锥形形状。导电材料(15)均匀地覆盖介电芯棒并终止于尖端(T)。所述导电材料(15)与尖端(T)相邻的一小部分从第一介电层(17)露出从而形成导电材料的露出部分(E),第一介电层(17)覆盖导电材料的除了露出部分(E)之外的所有复合电极。相变介质(19)与露出部分(E)接触。露出部分只是复合电极的整个表面面积的一小部分,使得露出部分和相变介质(19)之间的接触印迹(A<SUB>C</SUB>)相对于相变介质的表面面积(A<SUB>M</SUB>)是很小,从而减小了从相变介质传递到复合电极的焦耳热(j<SUB>h</SUB>)。
申请公布号 CN100380700C 申请公布日期 2008.04.09
申请号 CN03110202.6 申请日期 2003.04.04
申请人 惠普公司 发明人 H·李;D·M·拉扎洛夫
分类号 H01L45/00(2006.01);H01L23/52(2006.01);G11C11/56(2006.01) 主分类号 H01L45/00(2006.01)
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 肖春京
主权项 1.一种用于相变介质存储装置(10)的低热耗小接触面积电极结构,包括:基底(11);复合电极(12),其包括介电芯棒(13)和导电材料(15),介电芯棒(13)与基底(11)连接,并且介电芯棒(13)具有在顶点(V)终止的锥形形状,导电材料(15)均匀地覆盖介电芯棒(13)并在尖端(T)终止;第一介电层(17),所述导电材料(15)与尖端(T)相邻的一小部分从第一介电层(17)露出从而形成导电材料的露出部分(E),所述第一介电层(17)覆盖导电材料的除了所述露出部分(E)的所有部分;相变介质(19),其与第一介电层(17)和露出部分(E)连接;第二介电层(21),其与第一介电层(17)和相变介质(19)连接;和电极(23),其与相变介质(19)接触。
地址 美国加利福尼亚州