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经营范围
发明名称
Multi-beam exposure method
摘要
申请公布号
EP1189425(B1)
申请公布日期
2008.04.09
申请号
EP20010117065
申请日期
2001.07.13
申请人
HELL GRAVURE SYSTEMS GMBH & CO. KG
发明人
RESSEL, PETER;SCHEFFLER, ANDREAS
分类号
H04N1/191;G06K15/12;H04N1/06
主分类号
H04N1/191
代理机构
代理人
主权项
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