半导体器件及其制造方法

摘要

使用反射性涂层在低温塑料基片上制造硅薄膜晶体管(TFT)，以便廉价的塑料基片可取代标准玻璃，石英和硅晶片基的基片。该TFT可被用于大面积，低成本电子设备，比如平板显示器和便携电子设备，比如摄像机，个人数字助理和移动电话。

主权项

1.一种半导体器件，其包括：一用脉冲辐射退火制造的层，一可能被所述的脉冲辐射损伤的层，可操作地连接到所述用脉冲辐射退火制造的层，以及一反射层，其可操作地连接到所述可能被所述脉冲辐射损伤的所述层，以反射所述的脉冲辐射。