发明名称 DISPOSITIF DE REGLAGE D'UN APPAREIL DE GENERATION D'UN FAISCEAU DE PARTICULES CHARGEES
摘要
申请公布号 FR2832546(B1) 申请公布日期 2008.04.04
申请号 FR20010014990 申请日期 2001.11.20
申请人 FR 发明人
分类号 H01J37/04;H01J37/304;B82B3/00;H01J27/22;H01J37/21;H01J37/30;H01J37/305 主分类号 H01J37/04
代理机构 代理人
主权项
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