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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen der Abmessung eines Strukturelements durch Variieren eines die Auflösung bestimmenden Parameters
摘要
申请公布号 DE10250893(B4) 申请公布日期 2008.04.03
申请号 DE20021050893 申请日期 2002.10.31
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES INC. 发明人 HARTIG, CARSTEN;GRASSHOFF, GUNTER
分类号 G01B21/02;G01B11/02;G01B15/00;G01N23/225;G21K7/00 主分类号 G01B21/02
代理机构 代理人
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