发明名称 Speicherzellenanordnungen und Verfahren zum Herstellen von Speicherzellenanordnungen
摘要 Eine Speicherzellenanordnung weist einen ersten Speicherzellen-String mit einer Mehrzahl von seriell source-zu-drain-gekoppelten Transistoren auf, wobei mindestens einige der Transistoren Speicherzellen sind, einen zweiten Speicherzellen-String mit einer Mehrzahl von seriell source-zu-drain-gekoppelten Transistoren, wobei einige der Transistoren Speicherzellen sind, dielektrisches Material zwischen und über der Mehrzahl von Transistoren des ersten Speicherzellen-Strings und der Mehrzahl von Tran Source/Drainleitung-Graben in dem dielektrischen Material, wobei sich der Source/Drainleitung-Graben erstreckt von einem Source/Drain-Bereich eines Transistors der Mehrzahl von Transistoren des ersten Speicherzellen-Strings bis zu einem Source/Drain-Bereich eines Transistors der Mehrzahl von Transistoren des zweiten Speicherzellen-Strings, elektriitung-Graben, gekoppelt mit dem Source/Drain-Bereich des Transistors der Mehrzahl von Transistoren des ersten Speicherzellen-Strings und mit dem Source/Drain-Bereich des Transistors der Mehrzahl von Transistoren des zweiten Speicherzellen-Strings; und dielektrisches Füllmaterial in dem Source/Drainleitung-Graben zwischen dem Source/Drain-Bereich des Transistors der Mehrzahl von Transistoren des erereich des Transistors der Mehrzahl von Transistoren des zweiten Speicherzellen-Strings.
申请公布号 DE102006053435(A1) 申请公布日期 2008.04.03
申请号 DE200610053435 申请日期 2006.11.13
申请人 QIMONDA AG 发明人 WILLER, JOSEF;MIKOLAJICK, THOMAS;NAGEL, NICOLAS;SPECHT, MICHAEL
分类号 H01L27/115;H01L21/8247 主分类号 H01L27/115
代理机构 代理人
主权项
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