气压传感器

摘要

本发明提供一种结构简单、并能高精度地测定气压的气压传感器。本发明所涉及的一种气压传感器，其包括内部形成有密封空间的密封筐体、形成该密封筐体的至少一部分壁面并根据外气压的变化而变形以改变所述密封空间容积的第1薄板件、以及接触于该第1薄板件上并用于测量该薄板件的固有振动频率的第一PZT；还包括具有与所述第1薄板件相同的振动特性并在所述密封筐体的外部与该密封筐体相接触的第2薄板件、以及具有与第一PZT相同的振动特性且接触于所述第2薄板件上并用于测量该薄板件的固有振动频率的第二PZT。

主权项

1.一种气压传感器，包括内部形成有密封空间的密封筐体、形成该密封筐体的至少一部分壁面并根据外气压的变化而变形以改变所述密封空间容积的第1薄板件、以及，接触于该第1薄板件上并用于测量该第1薄板件的固有振动频率的第一PZT，其特征在于该气压传感器还包括：第2薄板件，其具有与所述第1薄板件相同的振动特性并在所述密封筐体的外部与该密封筐体相接触；第二PZT，其具有与第一PZT相同的振动特性并接触于所述第2薄板件上并用于测量该第2薄板件的固有振动频率。