氮化硅陶瓷发热体的微波炉烧结制备方法及专用设备

摘要

一种氮化硅陶瓷发热体的微波炉烧结制备方法及专用设备，它属于电发热体制备工艺及其专用设备领域，其特征在于所述的专用设备包括一个微波炉本体和坩埚和由最外层的纤维保温体和次外层的保温体，辅助加热板和纤维保温球填充层构成的烧结专用保温体；所述的制备方法如下：将陶瓷生坯放入坩埚，然后将装有陶瓷生坯的刚玉坩埚和烧结专用保温体一起整体放入微波烧结装置内进行烧结；烧结流程为：先将微波炉内抽真空，然后充入质量百分比大于99％的N₂，并数次反复上述程序；设定升温程序为5℃/min～50℃/min可调，升温至1300℃±50℃，恒温10～60分钟，然后再升温至1600～1750℃，恒温5～60分钟后关闭微波源自然冷却。

主权项

1.一种氮化硅陶瓷发热体的微波炉烧结制备方法，其特征在于它包括如下的工艺步骤：a)将经过现有工艺制成的氮化硅陶瓷发热体的陶瓷生坯(6)放入坩埚(5)，然后将装有陶瓷生坯的坩埚(5)和烧结专用保温体一起整体放入微波烧结装置内进行烧结；b)烧结流程为：先将微波炉内抽真空，然后充入质量百分比大于99％的N2，并可以数次反复上述程序至微波炉炉腔内N2质量百分比含量大于98％；设定升温程序为5℃/min～50℃/min可调，升温至1300℃±50℃，恒温10～60分钟，然后再升温至1600～1750℃，恒温5～60分钟，然后以3～30℃/min降温速度降温至室温，即完成高致密度的氮化硅陶瓷发热体的制备。