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发明名称
A Device and method for low electron temperature plasma generator
摘要
申请公布号
KR100819336(B1)
申请公布日期
2008.04.02
申请号
KR20040010956
申请日期
2004.02.19
申请人
发明人
分类号
H01L21/18
主分类号
H01L21/18
代理机构
代理人
主权项
地址
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