具有隐藏铰链的高填充率反射式空间光调制器

摘要

一种具有隐藏铰链的微反射镜阵列，可用于例如反射式空间光调制器中。在一种实施例中，微反射镜阵列包括隔板支撑壁、铰链、反射镜片和反射镜片上表面上的反射表面，其中反射表面遮蔽了铰链和反射镜片。该微反射镜阵列由单一材料制造。

主权项

1.一种微反射镜，包括：反射镜片，所述反射镜片具有上表面和下表面；铰链，所述铰链连接到所述反射镜片，以允许所述反射镜片相对于所述铰链的纵轴旋转；以及反射表面，所述反射表面位于所述反射镜片的所述上表面上和所述铰链的一部分上方，所述反射表面的面积大于所述反射镜片的所述上表面的面积，其中，所述铰链形成于所述反射镜片的所述上表面的下方，并被所述反射表面遮蔽。