正型光阻处理液及显像液

摘要

本发明系有关于一种正型光阻处理液组成物，系由含有下述通式(Ⅰ)：(式中，R1 及 R3 系各自表示甲基，R2系表示碳数 12~18 之烷基)所示的氢氧化第四级铵之水溶液所构成。