加工设备及装置制造方法

摘要

一种加工设备，配置成藉由将一模型压抵于一涂布在一目标构件的树脂，转印该模型之图案于该目标构件，包含：一驱动器，配置成使该模型与该目标构件彼此相对移动；以及一控制器，配置成控制该驱动器，使一第 1 状态下该模型与该树脂间所产生之负载的变化速率小于一第 2 状态下者，且该第 1 状态系黏附于该树脂之该模型开始朝自该树脂分离之方向移动的状态，而该第 2 状态则系朝自该树脂分离之方向移动之该模型将自该树脂分离的状态。