半导体晶圆及液晶玻璃基板之搬运装置

摘要

本创作系提供一种「半导体晶圆及液晶玻璃基板之搬运装置」，是在其搬送路下面配置洁净送风单元，而向搬送路特定方向喷出气流，除了将被搬送物上浮搬送之同时以洁净喷气流包围被搬送物之周围，使被搬送物在洁净空气之气流中，在所定之高度下能够浮起搬送；搬送设备中的洁净送风单元之上面配置特制出风口或倾斜闸砸栅板，使被搬送物下端部份能受到斜吹气流而推送；另，其喷气流之喷出方法是将板状空气过滤材屈折成V字状，而构成V字状之一边做成比另一边长，使要通过过滤网之洁净空气斜向吹出，也就是在洁净送风单元上配置斜向气流之空气过滤器(有异一般F.F.U.采用之垂直吹出气流之过滤器)，同样使被搬送物下端部份能受到斜吹气流而推送。

主权项

1.一种「半导体晶圆及液晶玻璃基板之搬运装置 」,包括:一洁净送风单元、一框架、一滚轴轴承 、一终端阻止器及一中间阻止器,其中,该洁净送 风单元内设有一送风机及高效率过滤网。 2.如申请专利范围第1项所述之「半导体晶圆及液 晶玻璃基板之搬运装置」,其中,洁净送风单元之 上面配置特制出风口或倾斜栅板,使被搬送物下端 部份能受到斜吹气流而推送为其目的。 3.如申请专利范围第1项所述之「半导体晶圆及液 晶玻璃基板之搬运装置」,其中,洁净送风单元之 上面配置斜向气流之空气过滤器,该过滤器内之板 状空气过滤材屈折成V字状,而构成V字状之一边做 成比另一边长,喷气流之喷出时,会通过过滤网之 洁净空气并斜向吹出。 4.如申请专利范围第1项所述之「半导体晶圆及液 晶玻璃基板之搬运装置」,其中,于洁净送风单元 之洁净空气吹出部份的周围及被搬送物搬送空间 用盖子围盖,即可维持被搬送物搬送空间中的空气 之洁净。 图式简单说明: 第一图:传统的搬送装置示意图 第二图:另一传统的搬送装置示意图 第三图:本创作之全体侧视图及洁净送风单元剖视 图 第四图:采用倾斜栅板的搬送方向之示意图 第五图:采用倾斜滤材的搬送方式之示意图 第六图:搬送空间的空气洁净化之概略图 第七图:装设差压计的洁净送风单元之概略图