使用单一遮罩形成图案之方法

摘要

一种使用单一遮罩形成图案之方法，包含：配置一具有已界定图案之光罩，并藉由控制曝光设备之焦距长度至聚焦位置，执行曝光制程，以于晶圆上形成具有相同于光罩形状之图案；及使用该相同光罩，并藉由控制曝光设备之焦距长度至散焦位置，执行曝光制程，以于晶圆上相对于该图案形成一具有相反影像之相反图案。