波导模态共振滤波器及其制作方法

摘要

本案系为一种波导模态共振滤波器及其制作方法，该方法包含下列步骤：提供一半导体基板；于该半导体基板的一第一表面与一第二表面上分别形成出一第一薄膜和一第二薄膜；于该第一薄膜上定义出一第一开口；于该第二薄膜的一顶面上定义出一光栅结构；以及于该第一开口对该半导体基板进行蚀刻，并蚀刻至该第二薄膜的一底面，而能于该半导体基板之内部形成出一光通道空间。该光通道空间之底部系为该第一开口，该光通道空间之顶部系为该第二薄膜的该底面。